fib 离子束中镓离子束和氦离子束即和即的区别别

以近似一致的速度沿几乎同一方向运动的一群离子.离子源用以获得离子束的装置。在各类离子源中用得最多的是等离子體离子源，即用电场将离子从一团等离子体中引出来这类离子源的主要参数由等离子体的密度、温度和引出系统的质量决定。属于这类離子源的有:潘宁放电型离子源射频离子源、微波离子源、双等离子体源、富立曼离子源等另一类使用较多的离子源是电子碰撞型离子源，主要用于各种质谱仪器中

你对这个回答的评价是？