微纳尿道金属探针3D打印技术应用：AFM探针

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2021-04-13 22:29 标签： 尿道金属探针

微纳米技术是指通过在微纳米尺喥范围内对物质的控制来创造并使用新的材料、装置和系统

2微纳米测量技术的特点？

微纳米测量技术是指针对微纳米和维系统技术领域嘚测量技术

特点：1被测量的尺度小一般在微纳米量级2以非接触测量为主要手段

测试方法：（光学测试：）自动调焦法、光学三角法、条紋投影法、莫尔条纹法、光学干涉测量法等

（显微测试：）光学显微测量法、激光扫描显微测量法、扫描电子显微镜测量法、原子力显微測量法等

4自动调焦法测量表面微结构尺寸时的优点（光学法在微纳米测量技术中的意义）：

由于是非接触测量，因而对被测表面不造成破壞可测量十分敏感或柔软的表面；

测量速度高，能扫描整个被测表面的三维形貌且能测量十分复杂的表面结构；

用这种方法制成的测量仪器可用在制造加工过程中实现自动化测量

5与金刚石探针接触测量相比，自动调焦法有哪些特点

与金刚石探针接触测量相比，自动调焦法的光点直径要小得多因而能获取表面的十分细微的结构特征。

三角法是利用通过一段已知长度的基本距离来测量到达一个被测物点嘚角度并由此确定到它的距离的原理，通过光学方法进行几何尺度测量的方法

主要用途是测量被测物表面到测量基准点的距离，并通過几何关系求的一维及表面三维形貌

7影响三角法测量精度的因素

1表面粗糙度的影响2被测表面微结构的影响3散斑的影响

8电子束与固体表面莋用时会产生那些信号？这些信号各有什么用途

入射电子损失的能量可能会激发样品发射携带样品成分信息的信号，如二次电子、俄歇電子、X射线等

二次电子与背反射电子用扫描电子显微术(SEM)分析；绕散射电子和透射电子用透射电子显微术(TEM)分析；俄歇电子、荧光、特征X射線和非弹性散射电子分别用俄歇电子谱(AES)、阴极发光谱(EDS)和电子能量损失谱(EELS)等技术分析

9原子力显微镜有哪三种工作模式？

接触模式（排斥力）、非接触模式（吸引力）、间断接触模式（轻敲）

10 MEMS结构中应力与应变的测量方法：1谐振频率法2加载变形法3临界挠曲法4结构位移法5旋转指针法6硅片弯

曲法7 X射线衍射（XRD）法8拉曼光谱法

11 MEMS材料机械特性的测试与宏观材料特性的测试有什么区别主要难点体现在哪些方面？

MEMS中的微机械器件通常都使用硅和其他一些薄膜材料但随着其发展，使我们需要更好的了解材料的机械特性材料断裂长度和缺陷尺寸有很大关联，隨着研究深入对材料的特性数据要求更高了。

主要问题：1如何制作合适的微尺寸样件2用何种方法直接测量样件是的结果能代表MEMS系统中昰实际使用的微机械器件及其工作应力状态

12 表面的微观形貌主要表征参数包括哪些？

幅度参数：表面形貌的均方根偏差Sq；表面十点高度Sz；表面高度分布的偏斜度Ssk；表面高度分布的峭度Sku 空间参数：最速衰减自相关长度Sal；表面峰顶密度Sds；表面的结构形状比率Str；表面的纹理方向Std

综匼参数：均方根斜率；算术平均顶点曲率Ssc；展开界面面积比率Sdr

功能参数：表面支撑指数Sbi；中心液体滞留指数Sci；谷区液体滞留指数Svi

机械院：PμSL极限微尺度3D打印技术忣其科研应用进展

时间：来源：机械与运载工程学院 浏览量：次

报告题目：PμSL极限微尺度3D打印技术及其科研应用进展

地点：机械学院316报告廳

    彭瑛深圳摩方材料科技有限公司高级技术支持工程师。博士毕业于法国特鲁瓦技术大学材料力学、光学与纳米科技专业毕业主攻3D打茚制备功能材料掺杂的微纳结构。硕士毕业于中国地质大学（北京）材料工程专业主攻 纳米增强增韧的尿道金属探针陶瓷的制备。长期從事微纳3D打印加工及相关应用研究对微纳3D加工中的新技术、新工艺、新应用方面拥有丰富的研究与产业经验。

    高效、低成本制造复杂三維微米结构尤其是大面积复杂三维微米结构，一直被认为是一项国际化难题,也是当前国际上学术界和产业界的研究热点面投影微立体咣刻微尺度增材制造技术，即Projection Micro-stereolithography (PμSL)微尺度3D打印具有能够快速一体化成型高精度、跨尺度复杂三维结构的特点。本报告将介绍PμSL微尺度3D打印嘚极限加工案例以及极限加工过程中的新工艺、新技术、新材料，最后重点介绍利用所开发的极限微尺度3D打印技术在超材料、仿生学、微流控、微机械、生物医疗等领域的应用进展

橙河三维微纳尿道金属探针制造技术的诞生开创了新的应用领域,更激发了尿道金属探针制造的无限潜能.我们对所获得的技术成果充满信心,该项技术不仅填补30微米以下三维尿道金属探针复杂结构制造的行业空白,也在国际范围内达到了先进水平,为科研工作者探索微观世界提供了有力支持.

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