六六氟化硫硫是一种窒息剂在高浓度下会呼吸困难、喘息、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛。 吸入80%六六氟化硫硫+20%的氧气的混合气体几分钟后人体会出现四肢麻木，甚至窒息死亡 我国规定，操作间空气中六六氟化硫硫气体的允许浓度不大于6g/m3或空气中氧含量应大于18%；短期接触空气中六六氟化硫硫气体的允許浓度不大于7.5g/m3。六六氟化硫硫在药理上是惰性气体低毒但对人体有窒息作用。在生活或使用过程中会分解一些痕量的有毒硫的低六氟化硫合物和氟氧化合物
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迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅如呼吸困难，给输氧如呼吸停止，立即进行人工呼吸就医。
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该品不燃切断气源。喷水冷却容器可能的话将容器从火场移至空旷处
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迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源合理通风，加速扩散如有可能，即时使用漏气容器偠妥善处理，修复、检验后再用
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若遇高热容器内压增大，有开裂和爆炸的危险 有害燃烧产物：氧化硫、六氟化硫氢。
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