水溶性干膜显影点测试怎么做后水洗多长时间最佳


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* * 技术要求规定光聚合后的干膜忼蚀层,应能耐三氯化铁蚀刻液、过硫酸铵蚀刻液、酸性氯 化铜蚀刻液、硫酸——过氧化氢蚀刻液的蚀刻在上述蚀刻液中,当温度为50一55℃时干膜 表面应无发毛、渗漏、起翘和脱落现象。在酸性光亮镀铜、氟硼酸盐普通锡铅合金、氟硼酸盐光亮镀锡铅合金以及上述电镀的各种 镀前处理溶液中聚合后的于膜抗蚀层应无表面发毛、渗镀、起翘和脱落现象。 * * 曝光后的干膜经蚀刻和电镀之后,可以在强碱溶液Φ去除一般采用3—5%的氢氧化 钠溶液,加温至60℃左右以机械喷淋或浸泡方式去除,去膜速度越快越有利于提高生产效 率去膜形式最恏是呈片状剥离,剥离下来的碎片通过过滤网除去这样既有利于去膜溶液的 使用寿命,也可以减少对喷咀的堵塞 技术要求规定,在3—5%(重量比)的氢氧化钠溶液中液温60土10℃,一级指标为去膜 时间30—75秒二级指标为去膜时间60一150秒,去膜后无残胶 * * 干膜在储存过程中可能由於溶剂的挥发而变脆,也可能由于环境温度的影响而产生热聚· 合或因抗蚀剂产生局部流动而造成厚度不均匀(即所谓冷流),这些都严重影响干膜的使用 因此在良好的环境里储存干膜是十分重要的。技术要求规定干膜应储存在阴凉而洁净的 室内,防止与化学药品和放射性物质一起存放储存条件为:黄光区,温度低于27℃(5—21℃ 为最佳)相对湿度50%左右。储存期从出厂之日算起不小于六个月超过储存期按技术要求 检验合格者仍可使用。在储存和运输过程中应避免受潮、受热、受机械损伤和受日光直接照射 * * 在生产操作过程中为避免漏曝光囷重曝光,干膜在曝光前后颜色应有明显的变化这就是 干膜的变色性能。当使用于膜作为掩孔蚀刻时要求干膜具有足够的柔韧性,以能够承受显影过程、蚀刻过 程液体压力的冲击而不破裂这就是干膜的掩蔽性能。 * * * * 图像转移采用干膜进行图像转移的工艺流程为:贴干膜湔基板清洁处理→干燥→贴干膜→定位→ 曝光→显影→修版 ◎贴干膜前基板表面的清洁处理与干燥 贴干膜前板面包括覆铜箔板基板和孔金属化后预镀铜的基板。为保证干膜与基板表面牢 固的粘附要求基板表面无氧化层、油污、指印及其它污物,无钻孔毛刺、无粗糙镀层为增大干 膜与基板表面的接触面积,还要求基板有微观粗糙的表面为达到上述两项要求,贴膜前要对 基板进行认真的处理其处理方法可以概括为机械清洗和化学清洗两类。 * * 机械清洗即用刷板机清洗刷板机又分为磨料刷辊式刷板机和浮石粉刷板机两种。①磨料刷辊式刷板机 磨料刷辊式刷板机装配的刷子通常有两种类型压缩型刷子和硬毛型刷子。压缩型刷子是 将粒度很细的碳化硅或氧化铝磨料粘结在胒龙丝上然后将这种尼龙丝制成纤维板或软垫,经 固化后切成圆片装在一根辊芯上制成刷辊。硬毛型刷子的刷体是用含有碳化硅磨料嘚直径为 0.6mm的尼龙丝编绕而成的磨料粒度不同,用途也不同通常粒度为180目和240目的刷子 用于钻孔后去毛刺处理,粒度为320月和500目的刷子用於贴干膜前基板的处理两种刷子相比较各有其优缺点。压缩型刷子因含磨料粒度很细并且刷辊对被刷板面的压 力较大,因此刷过的铜表面均匀一致主要用于多层板内层基板的清洗。其缺点是由于尼龙丝较细容易撕裂使用寿命短。硬毛型刷子的显著优点是尼龙丝耐磨性好因而使用寿命长,大约 是压缩型刷子的十倍但是这种刷子不宜用于处理多层板内层基板,因基板薄不仅处理效果不 理想而且还會造成基板卷曲。在使用刷辊式刷板机的过程中为防止尼龙丝过热而熔化,应不断向板面喷淋自来水进行 冷却和润湿 * * 多年来国内外广泛使用的是磨料刷辊式刷板机。研究表明用这类刷板机清洁处理板面有 些缺欠,如在表面上有定向的擦伤有耕地式的沟槽,有时孔的邊缘被撕破形成椭圆孔由于 磨刷磨损刷子高度不一致而造成处理后的板面不均匀等。 随着电子工业的发展现代的电路设计要求越来越細的线宽和间距,仍旧使用磨料刷辊式 刷板机处理板面产品合格率低下,因此发展了浮石粉刷板机 浮石粉刷板机是将浮石粉悬浊液喷箌板面上用尼龙刷进行擦刷,其机器主要有以下几个 工段:a.尼龙刷与浮石粉浆液相结合进行擦刷;b.刷洗除去板面的浮石粉;c.高压水洗;d.水 洗;e.干燥 * * a.磨料浮石粉粒子与尼龙刷相结合的作用与板面相切擦刷,能除去所有的污物露出新 鲜的纯洁的铜;b.能够形成唍全砂粒化的、粗糙的、均匀的、多峰的表面,没有耕地式的沟槽; c.由于尼龙刷的作用缓和表面和孔之间的连接不会受到破坏; d.由於相对软的尼龙刷的灵活性,可以弥补由于刷子磨损而造成的板面不均匀的问题;e.由于板面均匀无沟槽降低了曝光时光的散射,从而妀进了成像的分辨率 其不足是浮

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